體積表面電阻率試驗(yàn)儀測(cè)試精度提升的四種措施

1.改進(jìn)測(cè)試方法與夾具設(shè)計(jì)

采用三電極系統(tǒng)：這是測(cè)量體積和表面電阻率的標(biāo)準(zhǔn)方法。保護(hù)電極（GuardElectrode）的作用是消除表面泄漏電流和邊緣電場(chǎng)對(duì)體積電阻測(cè)量的影響，同時(shí)將體積電流和表面電流分離開。確保三電極的同心度和間距加工精確至關(guān)重要。

優(yōu)化夾具與樣品接觸：

使用導(dǎo)電橡膠、蒸發(fā)金屬電極或?qū)щ娿y漿來確保電極與樣品表面緊密、均勻地接觸，避免因接觸不良引入接觸電阻。

對(duì)于硬質(zhì)材料，確保電極有適當(dāng)?shù)膲毫?；?duì)于軟質(zhì)材料，避免壓力過大導(dǎo)致樣品變形。

規(guī)范測(cè)試流程：

嚴(yán)格的清潔程序：樣品和電極必須用高純度溶劑（如異丙醇）和無塵布清潔，以去除污染物和靜電。

穩(wěn)定的極化時(shí)間：嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定施加電壓并等待足夠的極化（充電）時(shí)間，讓電流達(dá)到穩(wěn)定。不同材料所需時(shí)間不同，需要通過預(yù)實(shí)驗(yàn)確定。

正確的放電時(shí)間：每次測(cè)試后，必須對(duì)樣品進(jìn)行充分放電（通常短接電極），至少為上一次充電時(shí)間的1.2倍，以消除殘余電荷的影響。

2.優(yōu)化儀器參數(shù)與校準(zhǔn)

選擇合適的測(cè)試電壓：電壓過高可能導(dǎo)致樣品擊穿或產(chǎn)生非線性效應(yīng)；電壓過低則信噪比差。需根據(jù)材料特性和測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)選擇合適的電壓。有時(shí)需要進(jìn)行電壓掃描來確定線性區(qū)域。

合理設(shè)置測(cè)量時(shí)間：包括極化時(shí)間和積分時(shí)間。較長(zhǎng)的積分時(shí)間可以有效濾除噪聲，提高讀數(shù)的穩(wěn)定性，尤其在高阻（>10^12Ω）測(cè)量時(shí)。

定期校準(zhǔn)與溯源：

定期（通常一年）將試驗(yàn)機(jī)送至國(guó)家計(jì)量院或具備資質(zhì)的第三方機(jī)構(gòu)進(jìn)行校準(zhǔn)，使用覆蓋整個(gè)測(cè)量范圍的標(biāo)準(zhǔn)高阻器。

確保校準(zhǔn)證書具有可溯源性（Traceability）。

如果設(shè)備有內(nèi)部校準(zhǔn)功能，應(yīng)定期使用。

3.嚴(yán)格控制環(huán)境因素

溫濕度控制：這是最關(guān)鍵的環(huán)節(jié)之一。

溫度：電阻率通常隨溫度升高而降低。實(shí)驗(yàn)室應(yīng)保持恒溫，例如23±2°C。記錄每次測(cè)試時(shí)的溫度。

濕度：濕度會(huì)顯著影響表面電阻率，因?yàn)樗肿訒?huì)在材料表面形成導(dǎo)電通道。必須將相對(duì)濕度控制在嚴(yán)格范圍內(nèi)，如50±5%或根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)要求。對(duì)于超高阻測(cè)量，甚至需要更低的濕度。

建議在恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行測(cè)試。

電磁屏蔽：

高阻測(cè)量極易受到外界電磁干擾（EMI/RFI）。試驗(yàn)機(jī)、測(cè)試夾具和樣品應(yīng)置于接地的金屬屏蔽箱內(nèi)。

使用高質(zhì)量的同軸電纜，并將保護(hù)端（Guard）正確連接，以屏蔽電纜的泄漏電流。

防震：將設(shè)備放置在穩(wěn)固、無振動(dòng)的臺(tái)面上，避免微震動(dòng)引起讀數(shù)的跳動(dòng)。

4.樣品處理與制備

狀態(tài)調(diào)節(jié)：測(cè)試前，樣品必須在標(biāo)準(zhǔn)溫濕度環(huán)境下（如23°C/50%RH）放置足夠長(zhǎng)的時(shí)間（通常24小時(shí)以上），以達(dá)到吸濕平衡，確保樣品狀態(tài)的統(tǒng)一。

規(guī)格統(tǒng)一：確保所有測(cè)試樣品的厚度、尺寸、加工方式一致，以減少因樣品本身差異帶來的誤差。